微電子凈化室是指將特殊生產車間內的空氣中的塵埃微粒子、生產過程中產生的有毒氣體、碎屑等污染物通過空氣循環(huán)過濾及部分空氣排出,到達無塵室內空氣潔凈的房間,在除塵的同時,通過凈化空調系統將潔凈室內的空氣溫度、濕度、壓力與氣流流動方向控制在適合生產光學鏡片或微電子的方位內,通過防靜電及排靜電的特殊措施,將凈化室內對敏感電子原器件有破壞性的靜電去除,凈化無塵室是在以上各項措施得到有效控制而設計和建設的密閉環(huán)境。
凈化工程師或空氣凈化工程供應商在此類工程的設計施工過程中,必須要加強對光學電子行業(yè)產品特性的充分了解和熟悉,需要更多的與電子產品生產企業(yè)的產品開發(fā)部相關技術人員進行溝通,根據該項目是新建車間或是舊車間技術升級改造,并結合光學電子生產企業(yè)具體的生產流程和工藝等要求來確定其需要的工藝平面方案、溫度、濕度、潔凈度等,還要考慮生產企業(yè)的產能規(guī)劃及建設經濟計劃安排,綜合各方面因素后再確定使用什么樣的空氣凈化處理方案,只有達到各方面的平衡,才能建設出一個滿足生產企業(yè)生產、運營要求的凈化無塵凈化車間。